氧化鋯陶瓷磨削加工方法在上面幾篇文章中已經(jīng)介紹了三種，最后一種陶瓷超聲波磨削加工法也可用于精密陶瓷零件加工，下面科眾陶瓷廠將介紹最后一種磨削加工方法---超聲波磨削加工。

超聲波磨削加工主要是利用超聲振動的工具，帶動工件和工具間的磨料懸浮液，對被加工陶瓷工件進(jìn)行沖擊和拋磨，使其局部材料被蝕除而成粉末，來達(dá)到穿孔切割和研磨、拋光的目的。

超身波磨削加工原理圖

在陶瓷材料磨削加工中通過不同的磨削參數(shù)對氧化鋯陶瓷進(jìn)行普通和超聲波輔助磨削加工，研究表明普通磨削時，隨著砂輪速度的增加，氧化鋯陶瓷磨削力明顯減少，而超聲磨削沒有明顯變化；超聲磨削深度能達(dá)到10μm，高于普通磨削近10μm。超聲波磨削加工與電火花、電解、激光加工技術(shù)相比，既不依賴材料的導(dǎo)電性又沒有熱物理作用，特別適合氧化鋯等硬脆材料的微細(xì)加工，正向著高精度、微細(xì)化方向發(fā)展。

備注：由于氧化鋯陶瓷的制備工藝以及增韌方法不同，制備出的氧化鋯陶瓷制品性能及其加工方式也有極大的區(qū)別。例如研究人員采用陶瓷復(fù)相的方式對氧化鋯陶瓷進(jìn)行增韌處理，因此對這類陶瓷材料的磨削加工會采用其他的加工方式，如激光熱應(yīng)力切割技術(shù)，磨料水射流加工，金剛石套料銑削加工，電火花加工等等。

氧化鋯陶瓷固定塊

氧化鋯陶瓷超聲加工是在加工工具或被加工材料上施加超聲波振動，在工具與工件之間加入液體磨料或糊狀磨料，并以較小的壓力使工具貼壓在工件上。氧化鋯陶瓷加工時，由于工具與工件之間存在超聲振動，迫使工作液中懸浮的磨粒以很大的速度和加速度不斷撞擊、拋磨被加工表面，加上加工區(qū)域內(nèi)的空化、超壓效應(yīng)，從而產(chǎn)生材料去除效果。

氧化鋯陶瓷超聲加工與其它加工方法相結(jié)合，形成了各種超聲復(fù)合加工工藝，如超聲車削、超聲磨削、超聲鉆孔、超聲螺紋加工、超聲振動珩磨、超聲研磨拋光等。超聲復(fù)合加工方式較適用于氧化鋯陶瓷的加工，其加工效率隨著氧化鋯陶瓷材料脆性的增大而提高。
研究人員對氧化鋯陶瓷材料的超聲磨削加工進(jìn)行了研究，使陶瓷材料的加工效率提高近一倍；

在對氧化鋁陶瓷與氧化鋯陶瓷進(jìn)行加工時，在工具與工件上同時施加超聲振動，從而使加工效率提高了2～3倍；在鉆頭上施以超聲振動進(jìn)行深孔加工，大大提高了孔內(nèi)表面質(zhì)量與孔的圓度。