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工業陶瓷燒結是在進行陶瓷加工前最后進行的一個環節，燒結的好壞都將影響氮化鋁陶瓷的加工性能，從而影響加工后的陶瓷基片的性能，下面科眾陶瓷廠給大家介紹下其燒結方法。

（1）燒結方法

AlN陶瓷基片一般采用無壓燒結(常壓燒結)，該燒結方法是一種最普通的燒結，雖然工藝簡單、成本較低、可制備復雜器件，但燒結溫度一般偏高，在不添加燒結助劑的情況下，一般無法制備高性能AlN陶瓷基片。（助劑相關見下文解析。近年來，出現了一些新型燒結方式，如微波燒結、放電等離子燒結等。

氮化鋁陶瓷片打孔

a 微波燒結

傳統燒結方式一般通過外部熱源對AlN坯體進行加熱，熱傳導不均且速度較慢，將影響燒結質量。微波燒結通過坯體吸收微波能量從而進行自身加熱，加熱過程是在整個材料內部同時進行，升溫速度快，溫度分散均勻，防止AlN 陶瓷晶粒的過度生長。這種快速燒結技術能充分發揮亞微米級和納米級粉末的性能，具有很強的發展前景。

例子：研究人員采用該燒結方法對加有質量分數3%Y2O3的AlN粉體進行燒結，在燒結溫度較低的情況下制備出了接近理論密度的AlN陶瓷材料，熱導率達160～225W/( m·K)。

b 放電等離子燒結

放電等離子燒結技術主要利用放電脈沖壓力、脈沖能和焦耳熱產生瞬間高溫場實現快速燒結。放電等離子燒結技術的主要特點是升溫速度快，燒結時間短，燒結溫度低，可實現AlN 陶瓷的快速低溫燒結。通過該燒結方法，燒結體的各個顆粒可類似于微波燒結那樣均勻地自身發熱以活化顆粒表面，可在短時間內得到致密化、高熱導燒結體

例子：有研究人員將添加質量分數3% Sm2O3的AlN坯體通過放電等離子燒結技術在1500℃下僅燒結3min，便得到高達118 W/( m·K)的熱導率。